ico021 34786180
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2-3 Step Telescopic Robot
产品介绍
产品参数
其他产品

特点:

最大垂直行程1200毫米(z行程)

应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)

多达3-step伸缩式应用

单、双臂机器人

ODM或OEM供应

单、双臂/多片型

Class 1 洁净度

多种末端执行器:真空吸爪,边缘夹持器

平移(Track)轴,Mapping Sensor(可选)

可按需求时进行定制

模型

Tele Single

(2-step)

Tele Dual

(2-step)

Tele Single

(3-step)

Tele Dual

(3-step)

ASR-**10-20

ASR-**20-20

ASR-**10-30

ASR-3**20-30

性能

运动范围

R1,R2 轴 (伸展)

567毫米

567毫米

 730毫米

730毫米

T 轴 (旋转)

370度

370度

370度 

370度

Z 轴 (上/下)

600毫米 

600毫米

1200毫米 

1200毫米

最大速度

R1,R2 轴 (伸展)

800 毫米/秒 

800 毫米/秒

 800 毫米/秒

800 毫米/秒

T 轴 (旋转)

240 度/秒

240 度/秒

240 度/秒 

240 度/秒

Z 轴 (上/下)

600 毫米/秒

600 毫米/秒

600 毫米/秒 

600 毫米/秒

重复定位精度

R1,R2 轴 (伸展)

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米

T 轴 (旋转)

≤ ±0.02度 

≤ ±0.02度

 ≤ ±0.02度 

 ≤ ±0.02度

Z 轴 (上/下)

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米

平均故障间隔时间

≥ 8000 小时 

平均修复时间

≤ 2 小时 

通用

晶圆尺寸

8 -12 英寸

控制轴

4

5

5

6

手臂类型

单臂 

双臂

单臂 

双臂

end effect厚度

< 3毫米

洁净度

Class 1

负载

1kg(包含夹爪) 

重量

60 千克

64 千克

80 千克

84 千克

教导器线长度(机器人控制)

3米(标准)

实用程序

功率(控制器)

单相 AC220±10%, 50/60Hz

洁净空气

大于 0.4-0.5MPa,¢ 4mm

真空

小于-50kPa 

环境

工作环境温度

 0-40°C