ico021 34786180
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Turn Flip Robot
产品介绍
产品参数
其他产品

特点:

应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)

洁净室应用

单、双臂机器人

180°手臂平行翻转功能(单翻转或双翻转)

多种末端执行器: 伯努利吸爪 ,边缘夹持

平移(Track)轴,Mapping Sensor(可选)

可桉需求进行定制

模型

8’’Flip Robot

单臂

8’’ Flip Robot

双臂

12’’ Flip Robot

单臂

12’’ Flip Robot

双臂

ASR-2015-00

ASR-2025-00

ASR-3014-00

ASR-3024-00

性能

 

运动范围

R1,R2 轴 (伸展)

567毫米

567毫米

730毫米

730毫米

T 轴 (旋转)

370度

370度

370度 

370度

Z 轴 (上/下)

240毫米 

240毫米

300/425毫米 

300/425毫米

最大速度

R1,R2 轴 (伸展)

800 毫米/秒 

800 毫米/秒

800 毫米/秒

800 毫米/秒

T 轴 (旋转)

240 度/秒

240 度/秒

240 度/秒 

240 度/秒

Z 轴 (上/下)

300 毫米/秒

300 毫米/秒

300 毫米/秒 

300 毫米/秒

R1,R2 轴 (伸展)

1000≤ 毫米/秒

1000≤ 毫米/秒

1000≤ 毫米/秒 

1000≤ 毫米/秒

重复定位精度

T 轴 (旋转)

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米

Z 轴 (上/下)

≤ ±0.02度 

≤ ±0.02度

≤ ±0.02度 

≤ ±0.02度

R1,R2 轴 (伸展)

≤ ±0.05毫米 

≤ ±0.05毫米 

≤ ±0.05毫米 

≤ ±0.05毫米

T 轴 (旋转)

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米

平均故障间隔时间

≥ 8000 小时 

平均修复时间

≤ 2 小时  

通用

晶圆尺寸

8 英寸

12 英寸

控制轴

4

6

4

6

手臂类型

单臂 

双臂

单臂 

双臂

Endeffect厚度

< 3.5毫米

< 3.5毫米

洁净等级

1类

负载

1kg(包含夹爪) 

重量

38 千克

42 千克

48 千克

52 千克

教导器线长度(机器人控制)

3米(标准)

实用程序

功率(控制器)

单相 AC220±10%, 50/60Hz

洁净空气

大于0.5MPa,¢ 6mm

真空

小于 -90kPa 

环境

工作环境温度

0-40°C