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Standard ASR(Arm Scara Robot)
产品介绍
产品参数
其他产品

特点:

应用于50 - 450 mm晶圆(2 ~ 18”)

洁净室应用

ODM或OEM供应

单、双臂/多片型

快速精密运动机器人

Class 1 洁净度

多种末端执行器:伯努利吸爪 ,边缘夹持

平移(Track)轴,Mapping Sensor(可选)

可按需求进行定制

模型

8’’ASR

单臂

8’’ASR

双臂

12’’ASR

单臂

12’’ASR

双臂

ASR-2010-00

ASR-2020-00

ASR-3010-00

ASR-3020-00

性能

运动范围

R1,R2 轴 (伸展)

567毫米

567毫米

730毫米

730毫米

T 轴 (旋转)

370度

370度

370度 

370度

Z 轴 (上/下)

240毫米 

240毫米

300/425毫米 

300/425毫米

 

最大速度

R1,R2 轴 (伸展)

800 毫米/秒 

800 毫米/秒

800 毫米/秒

800 毫米/秒

T 轴 (旋转)

240 度/秒

240 度/秒

240 度/秒 

240 度/秒

Z 轴 (上/下)

300 毫米/秒

300 毫米/秒

300 毫米/秒 

300 毫米/秒

R1,R2 轴 (伸展)

1000≤ 毫米/秒

1000≤ 毫米/秒

1000≤ 毫米/秒 

1000≤ 毫米/秒

重复定位精度

T 轴 (旋转)

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米

Z 轴 (上/下)

≤ ±0.02度 

 ≤ ±0.02度

≤ ±0.02度 

≤ ±0.02度

R1,R2 轴 (伸展)

≤ ±0.05毫米 

≤ ±0.05毫米 

≤ ±0.05毫米 

≤ ±0.05毫米

T 轴 (旋转)

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米 

≤ ±0.1毫米

平均故障间隔时间

≥ 8000 小时 

平均修复时间

≤ 2 小时  

通用

晶圆尺寸

8英寸

12 英寸

控制轴

3

4

3

4

手臂类型

单臂 

双臂

单臂 

双臂

endeffect 厚度

< 2.5毫米

< 3毫米

洁净等级

Class 1

负载

1kg(包含夹爪) 

重量

38 千克

42千克

48千克

52千克

教导器线长度(机器人控制)

3米(标准)

实用程序

功率(控制器)

单相AC220±10%, 50/60Hz

洁净空气

大于 0.5MPa,¢ 6mm

真空

小于 -90kPa 

环境

工作环境温度

0-40°C