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POM 150R RSP Opener
Fortrend POM-150R是一款自动的SMIFpod,设计用于打开150mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后,光罩片仍在pod table上,操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统,可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术,能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器,防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在,防止错误地影响设备和fab之间的气流。
产品介绍
产品参数
其他产品

Fortrend POM-150R是一款自动的SMIFpod,设计用于打开150mm单个和多个光罩SMIFpod。当pod盖子被打开后,光罩片仍在pod table上,操作人员可以安全地操作。POM是专为tabletop应用而设计的全电动系统,可快速安装和拆卸。一种可选的专利基片测绘技术,能在基片处理过程中防止破损。带有操作联锁的rsticle突出传感器,防止pod关闭在突出的基片上。pod传感器检测SMIFpod的存在,防止错误地影响设备和fab之间的气流。

特点和优势

Class 1 洁净度

支持SEMI E111和E112兼容150mm SMIFpod

所有电气系统安装方便

基片突出传感器在工作过程中保护光罩片

正在申请专利的pinch传感器,用于保护操作人员和光罩片安全

多样的pod传感器避免了操作人员的错误

静态耗散透明面板

 

规格

重量:~ 51磅。

尺寸:13.25 " w x18.37 " d x27.50 " h

循环时间:< 10秒

MCBF: 50000次

MTTR:少于1小时

功率:1A最大,单相

50/60 Hz @ 115/240 VAC

选项:映射,RFID