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Foup Stocker
富创得Stocker由标准存储架单元拼接而成,可以根据客户现场尺寸限制和要求进行自由组合,存储位reader和顶部FFU也可以根据客户需求进行选配; 可以应用于各种晶圆片和光罩片载具的存储,并可以根据需求对载具和Stocker内部进行气体填充; 可与AMHS系统和AGV进行对接,也可以整合Embedded Sorter。
产品介绍
产品参数
其他产品
灵活的布局,可定制化设计
人车分离,适合各种运输工具对接
符合SEMI标准取放高度及通讯协议
独有的存储柜与存储柜间传输设计
高速载入载出及安全防护装置
维修门和维修梯安全设计
可选整合Embedded Sorter的设计
可选FFU封顶设计
可选晶圆盒充氮气设计
具备216个FOUP存储工位,包含6个移动货架存储工位;
具备至少1个FOUP手动出口和1个FOUP手动入口,且出入口可读取RFID标签和状态指示灯;
FOUP手动出入口具有自动门,可手动或自动控制;
FOUP搬运机械手臂具有在位侦测和FOUP硬限位保护功能,且机械手臂可自动复位;
避免机械手臂上FOUP与bin或者port上的FOUP碰撞功能;
移动货架出入口具有自动门,可手动或自动控制;
维修门具有interlock装置,防止误开造成伤害;
具有监控功能,可远程监控STOCKER内部运行状况。

项目

技术指标

规格

整体尺寸

1600(W) x 8280(L) x 4620(H) mm

地板以上尺寸

1600(W) x 8280(L) x 4000(H) mm

地板以下尺寸

1600(W) x 7280(L) x 620(H) mm

存储位

最大存储位

216 FOUPs (含6个移动储位)

洁净等级

内部洁净度

(Stocker顶部直接与净房顶部FFU对接)

ISO5级(Class100)

传输时间

最长存FOUP时间(从入口工位到最远存储位)

52秒 (以极限速度值的80%计算)

最长取FOUP时间(从最远存储位到出口工位)

59秒(以极限速度值的80%计算)

性能参数

正常工作时间(Up Time)

≥ 99%

平均故障间隔时间(MTBF)

≥ 2160 小时

平均故障修复时间(MTTR)

≤ 45分钟

平均保养间隔时间(MTBC)

≥6个月

可支持的通讯接口及通讯协议

Serial RS-232、 Parallel I/O

SECSII/HSMS

可选项

与AGV对接功能

E84功能