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Lamina Series 200mm Wafer EFEM/Sorter
Fortrend从2000年初开始提供Lamina系列的晶圆sorter /EFEM,是晶圆应用领域的市场领导者,在全球范围内安装了近300多台晶圆sorter。
Fortrend拥有并生产所有关键部件,如robot、SMIF开合器、晶圆校准器、ME和控制软件。Fortrend提供标准的sorter配置,也可进行定制。Fortrend的晶圆Sorter经过现场验证,高通量且可靠,在价格和性能方面具有很强的竞争力。
产品介绍
产品参数
其他产品

Fortrend从1997年开始提供晶圆和reticle sorter,是全球安装reticle应用领域的市场领导者在全球范围内都有安装(中芯国际安装了一台reticle sorter)。

Fortrend晶圆sorter是一种经过现场验证的高通量、可靠的分选系统,在价格和性能上具有很强的竞争力

比一级(ISO-3)洁净

灵活的ID读取系统符合SEMI M12, M1.15

单臂和双臂机器人的灵活配置

统一的sorter框架,支持200mm和300mm的应用程序,允许在200mm和300mm之间轻松转换(升级),双端口,3端口和4端口配置

可选RFID/智能标签/条形码批次跟踪系统

可选200/300mm晶圆混合分选系统

可选电源中断UPS和Raid-5数据库保护

TUV公司认证S2/S8/S9/S22/CE(见证书)

300mm输送设备完全满足SEMI标准(包括但不限于E84/E47.1/F47)

晶圆尺寸

SEMI 标准 200mm晶圆

洁净度

Class 1@ 0.1µm (PTFE)

产量(通过双臂机器人)

>550 WPH (无 OCR 和Aligner)

>250 WPH (有 OCR 和Aligner)

末端执行器

真空片或边缘钳

机器人重复精度

± 0.1mm

校准器重复精度

± 0.1mm

通讯

HSMS or SECS I / SECS II 信息

平均修复时间

< 2 小时

平均故障间隔时间

>4,000 小时

OS

Window XP 专业或兼容

晶圆尺寸

SEMI 标准 200mm晶圆/ SEMI 标准 300mm晶圆

设备要求

220 V, 50/60 Hz, 15A,3根电线, 单相

真空要求

-90kPa (min)