ico021 34786180
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300mm Load Port
产品介绍
产品参数
其他产品

 标准特征

兼容 SEMI 300mm Foup Loadport标准E15.1、E47.1、E57、E62、E64、E83、E110、S2、S8

符合SEMI E63 BOLTS-M 和 E92 BOLTS光接口标准

Load port状态感知功能

Foup Present
Foup Placement
Foup Dock
Foup Door Present
Wafer Protrusion
Finger pinch sensor

Vacuum Pressure

模块化设计将调整、维护和停机时间降到最低

RS232通信接口

Mapping功能

Class 1 洁净度

S2S8认证

 

可选设备:

Optical PIO sensor
Info Pad sensor
N2 puege interface
200mm adaptor
200mm wafer mapping200mm晶圆casstte RFID读写

                      Foup Opener 规格

型号

LO-3100

晶圆尺寸

300mm

Carrier 类型

300mm FOUP Compile witnSEMI 47.1

尺寸

472(W)X493(D)X1386(H)

重量

66kg

安装

安装点

900mm±10mm

螺栓

ISO M8-6H

清洁

Class 1 @0.1μm

操作时间

With mapping

FOUP Open:17 sec

FOUP Close:10 sec

通讯

Serial RS-232,Parallel I/O

RFID 读卡器、写入器

TI 134.2kHz

实用程序需求

用电

+24VDC,5A

真空

-80kpa

CDA

5kg/cm²