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PLUS 500 S-X
Fortrend在1995年引进了第一个200mm SMIF装载机/卸载机(PLUS-500),并在HP-Corvallis美国工厂建造了第一个200mm SMIF制造工厂。拥有7项美国专利和4项中国SMIF专利。专门提供SMIF供客户改善和OEM整体解决方案。灵活的软件和硬件配置客制化使开盒工具SMIF不断升级。
产品介绍
产品参数
其他产品

特点

循环时间小于90秒,使生产最大化

占地面积小,节省宝贵的车间地面空间

超薄末端执行器满足客户特殊要求

装载高度可调整,符合人体工学设计

微环境室和清洁的空气流动系统,保持设备维持在Class1 洁净度

 

易于集成

全自动的Fortrend Plus500 S可以在90秒或更短的时间内将200毫米的cassette从SMIFpod转移到加工工位。该系统还可用于将cassette装载到无SMIF环境中的加工工具中。

由于总占地面积并不比SMIF pod大多少,Plus 500 S-X很容易与AGV系统集成并进入小区域。

带有末端执行器的可编程机械臂可以将晶圆倾斜到垂直位置,可容纳多种加工工具。

 

简易维护

所有Plus 500型号都有多种工具接口选择:带有快速释放锁扣的钻石针接口板和独立的地板支架,可以在15分钟或更短时间内与任何加工工具重新连接。考虑到在启动过程中,可能需要每天两次断开和重新连接pod装载器,以调整加工工具,因此该特性显著减少停机时间,并简化了预防性维护。

 

安全可靠

专利的内置微型环境和气流控制系统有助于保护晶圆不受污染,同时机器人在SMIF Pod和工具之间转移晶圆。

具有自动防故障装置的特性,包括Pod现有传感器,晶圆突出传感器,cassette过载传感器,恒定力矩直流步进电机(带有编码器反馈)精确和可靠的运动控制, Plus 500 S-X是OEM和系统集成商的最佳选择。

 

 Class 1 洁净度

<0.1 PWP @ 0.2 μm或更大尺寸粒子

< 90秒的周期时间

2000小时平均故障间隔时间

56x34x151cm (22x13.4x59.5 英寸)

标准装载高度90cm,可调

总重量为93公斤(206磅)

115vAC标准(可选230v)单相

50/60Hz 5安培