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450mm Thermal Curing System
Fortrend公司于2006年推出了第一套超净(优于10级)晶圆热固化系统,用于晶圆表面的热处理。超过10年的现场检验和改进,Fortrend推出了全球首个3DIC热固化系统,立即成为3DIC固化应用的行业基准。Fortrend不仅提供标准和定制的热固化模块,而且还用齐全的配置和最低的费用提供有全自动的晶圆传输系统。
产品介绍
产品参数
其他产品

Fortrend 450 degree Thermal Chanber使用优越的创新技术

独特的氮气加热器:其1级热氮气使晶片加热更加均匀。

4个加热区控制加热室均匀性。

排气管周围有加热器,避免蒸汽冷凝在管。

烘箱系统集成了微型环境、450mm load port、晶圆机器人、烘箱及控制单元。

建立在现场已验证的300mm晶圆烘箱技术。

应用范围:3DIC烘烤、退火、脱湿、回流、热加工。

工作范围广:环境+20~450℃。

全自动。

简易的操作界面。

烘烤室用ISO 4级(联邦标准10级)

更好的10级烤箱系统

气体输入:N₂3气体

氮消耗:0 ~ 250升/分钟

温度均匀性:±3.5°C

配方编号:可编程

晶片凸块联锁

晶圆与机械手臂的前凸检测

主控制器:IPC