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300mm Thermal Curing System
Fortrend公司于2006年推出了第一套超净(优于10级)晶圆热固化系统,用于晶圆表面的热处理。超过10年的现场检验和改进,Fortrend推出了全球首个3DIC热固化系统,立即成为3DIC固化应用的行业基准。Fortrend不仅提供标准和定制的热固化模块,而且还用齐全的配置和最低的费用提供有全自动的晶圆传输系统,。
产品介绍
产品参数
其他产品

SIO-300-200是一个非常成功的TC室内系统。其超净热处理室明显提高了产品收率。极低的燃气运行成本和能耗明显降低了运行成本。这使得它成为最受欢迎的工艺烤箱系统。

SIO-300-200可用于大气固化和真空固化。对于大气固化,其洁净度可轻松达到10级,温度均匀度+/- 3度。它温和的加热方式使晶圆片非常安全——晶圆片表面没有过热现象。真空固化时,在一定条件下,其清洁度基本达到1级,温度均匀度达到+/- 3度。

应用程序:

3DIC轮廓固化

热处理

◆退火

◆水分去除

◆PI处理

◆光刻胶去除

◆BCB处理

◆回流

抗光蚀处理

◆去除氧化铜

烘箱系统集成了微型环境、300mm load ports、晶圆机器人、casstte机器人、烘箱及控制单元。

现场已证实的应用程序:3DIC烘烤,光刻胶烘烤,大部分去除,回流和热加工。

200mm casstte手动/自动装载。

工作范围广:环境温度~250℃。

全自动。

简易的操作界面。

Class10防尘等级

更好的10级烤箱系统。

工业气体输入:N₂3气体。

氮的消耗:0 ~ 50 l / min

真空操作压力:10torr ~近大气

大气运行压力:~840 torr

温度均匀性:±3.5°C

配方编号:可编程

晶片碰撞互锁

晶圆与机械手的前凸检测

主控制器:IPC——Windows 7

模块化设计将调整、维护和停机时间降到最低

S2, S8兼容

大气模型

SIO-300-200-02

SIO-300-200-03

SIO-300-200-3H

SIO-300-200-4

真空模型

SIO-300-200-02-Vac

SIO-300-200-03-Vac

SIO-300-200-3H-Vac

SIO-300-200-4-Vac

烘箱最高温度

160℃

160℃

220℃

250℃

晶圆走向

垂直

垂直

水平

水平

烘箱数量

1

2

2

2

晶圆机器人

单臂

单臂

单臂

单臂

末端执行器

单片

单片

单片

单片

Cassette机器人

垂直cassette 传输

垂直cassette 传输

水平cassette 传输

水平cassette 传输

Load ports数量

2

4

4

4

V-turn

垂直

垂直

水平

水平

冷却站

1

3

3

3