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PLS 200Rx RSP 200&EUV Opener
产品介绍
产品参数
其他产品

•单机桌面RSP 200 SMIFpod开盒器

所有电气系统

按钮操作解锁或锁定SMIFpod盖

操作员手动移除SMIFpod盖

可选RFID读/写器

规格:

pod:200mm RSP或200mm SMIFpod

尺寸:340mm W x 390mm D x 110 mm H

(430mm D w/电源线)

重量:6.5公斤(14.3磅)

标称负载高度:桌面单元

最大负荷:12公斤(26.4磅)

功率:110V@ 50/60 Hz

标准:SEMI e15 - 96

循环时间:<6秒。锁定或解锁

选项:RFID阅读器/写入器

控制:单按钮操作

工作温度:5°~ 40°C

湿度:5% ~ 90%,不结露