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PLS EUV RSP 200&EUV Opener
占地面积小的EUV SMIF开盒器;ISO 1级清洁度;在开盒和关盒时,按SEMI E152对外舱门施加80N力;打开pod,手动拆卸pod外盖,进入光罩pod内部
产品介绍
产品参数
其他产品

•占地面积小的桌面EUV SMIFpod开盒器

•ISO 1级清洁

•在开锁和锁外pod门时,按SEMI E152对外pod门施加80N力。

•打开pod外门,手动拆卸pod外盖,进入内光罩片pod

•在一个小型环境中用理想的低成本使用开放的工作台工具

•所有电气系统

•独立系统

•符合SEMI E19.4、E48、E152、S2、S8标准和CE认证

•可选的RFID阅读器/写入器

•解锁/锁定标准200mm SEMI E100 光罩片SMIFpod(RSP)

•EUV或标准RSP pod的选择开关

规格:

Reticle 大小

150mm W x 150mm D x 6.35mm H

尺寸

315.5mm W x 442mm D x 214 mm H

负载能力

5.4kg

Pod 类型

SEMI E100 RSP and E152 EUV RSP

Pod 接口

SEMI E19.4

电力需求

100V/240VAC @ 1Amp 50/60Hz

重量

10 kg without Pod

打开 Pod

< 4 seconds

关闭 Pod

< 4 seconds

MCBF

50,000 cycles

MTTR

< 1 hour

Pod PIP 传感器

1 组

通信

串行

通信 (可选)

EIA-RS232C (SECS I/II)

ID 设备 (可选)

RFID 模组