ico021 34786180
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PLS 200R 200
占地面积小,节省晶圆厂空间,用于打开8寸的光罩和晶圆SMIF pod。可选IR或RFID read/write;LED 状态指示器。
产品介绍
产品参数
其他产品

特点

超小的占地面积节省宝贵的FAB地板空间

•IR或RF ID读/写

•LED指示器

 规格

通用

符合SEMI规范

 

:

110/220VAC 50/60Hz 20 w

打开/关闭开关

指示器

 

机器:

尺寸:340Wx 430Dx 119H

重量:6.5公斤

负载能力:12公斤

pod接口:E19.4 - 0697

打开pod< 6秒

关闭pod< 6秒

准确度:+- 1度